ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵產品圖片: |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵產品概述: |
NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用於希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。特長結凈的真空腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。能在高吸入壓強下運轉選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運轉。 |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵產品特點: |
1、 低噪音、低振動, 優良的耐腐蝕性 2、標準零部件采用高硬度並經過優異的防腐蝕特殊表麵處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。 3、選購件:可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。 |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵適用范圍: |
1、 活性氣體(CVD、刻蝕等) 2、 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶註入等) 3、用於產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等) 4、 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵) 5、 冷凍乾燥等水蒸氣排氣 |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵抽氣速率: |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵售後服務: |
1、 出廠檢驗:每一產品出廠前均有專業的質量檢驗人員調試檢測,合格後方能出廠。 2、 產品運輸:出廠後運輸單位保證安全運抵客戶指定的地點。 3、 售後服務及投訴專線:18817733178 李經理 4、 產品報修: 在接到報修通知後,努力在最短時間提供合理的解決方案
特此聲明不予辦理退貨情況如下: 1、由於人為的或者不可抗拒的自然現象而發生的損壞 2、由於操作不當或不正確的安裝造成的損壞或破壞, 3、由於對機械設備的改造,分解,組裝而發生的故障 |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵相關型號: |
NB羅茨泵系列:NB100A NB300A NB600A NB1200A VS油旋片式真空泵系列:VSN1501 VSN2401 VD油旋片式真空泵:VDN601 VDN901 VDN401 VDN301 GLD油旋片式真空泵:GLD-N280 GLD-N051 GLD-N201 GLD-N136 PVD油旋片式真空泵系列:PVD-N360 PVD-N180 |
ULVAC愛發科NRL180A羅茨乾泵聯系方式: |
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