1、圓度測量單元C-軸
徑向跳動誤差(P+V):0.03um+0.0006um/mm測量高度
圓度誤差(P或V):0.015um+0.0003um/mm測量高度
軸向跳動(P+V):0.04um+0.0006um/mm測量半徑
圓度誤差(P或V):0.02um+0.0003um/mm測量半徑
2、全自動調心調平工作臺:
工作臺直徑:160mm
工作臺中心承載:200N(20KG)
主軸速度:1-20 rpm
3、垂直測量單元Z-軸(能雙軸聯動快速測量圓柱及全跳動)
測量高度:250mm
直線度誤差:0.15um/lOOmm
全程直線度誤差:0.3 um
測量速度:0.5-20 mm/s
定位速度:0.5-100 mm/s
4、機器測量范圍:
工件最大直徑:230mm
測量最大高度:380mm
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