規格 參數 | NC-6050 | NC-7060 | NC-8080 | NC-1010 | |
工 作 臺 | X/Y軸行程 | 600*500 | 700*600 | 800*800 | 1000*1000 |
Z軸行程 | 有效空間245mm,調焦行程200mm,工作距離95mm | ||||
金屬臺麵尺寸 | 900*900 | 1000*1000 | 1200*1200 | 1450*1450 | |
玻璃臺麵尺寸 | 550*550 | 650*650 | 850*850 | 1050*1050 | |
傳動型式 | 傳動型:X/Y/Z軸精密線性導軌和研磨級精密光軸傳動 | ||||
測量伺服驅動系統 | 光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM) | ||||
測量精度:≤3UM+L/200 重復精度:≤3UM+L/200 | |||||
X/Y/Z三軸高性能伺服電機,雙重閉環控制系統(選配搖桿) | |||||
影像系統 | 攝像機:本彩色1/3″CCD 攝像機放大倍率30-230X | ||||
鏡頭:NAV高清變倍鏡頭//連續放大倍率0.7-4.5X 可選配:0.5X物鏡時,總放大倍率15-115X 可選配:2X物鏡時,總放大倍率60-460X | |||||
光源系統 | 表麵光源與透射光源冷光源、命長、亮度可調 | ||||
機器外形尺寸(L*W*H) | 1700*1200*1750 | 1800*1300*1750 | 2200*1600*1750 | 2600*2000*1750 | |
機器重量(KG) | 1400 | 2000 | 2400 | 3000 |
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