用途和主要特點
- 高效檢測球面和大曲率半徑面形。
- 高精度、快速定量、100%無損檢測、抗幹擾能力強。
- 非標準系列口徑的、非球面檢測對象的，根據用戶需要定制。
- 模塊化組合式，低倍變焦實現高倍變焦。
技術指標
- 標準平面精度：λ/20
- 標準球面精度：λ/10
- 曲率半徑范圍：依型號定
- 精密度：λ/600
- PV重復性：λ/500
- RMS重復性：λ/1000
- 尺寸（mm）：根據客戶需要定制。
主要配置
- 口徑：2〞(50.8mm)
- 波長：630～650nm
- 電源：220V，50HZ
- 軟件：專用分析軟件 ，可根據用戶需要增加、調整。
- 電腦：根據用戶需要配置。
主要適用領域
用於生產、教學、科研領域。如“光學加工的鏡片檢測，半導體工業中的晶片檢測、大平板顯示中的平面檢測、數據存儲、MEMS/NEMS工業中光滑元件表面檢測、納米薄材料檢測、LED芯片制備等”。
幹涉儀主要應用於檢測高精度加工表面的形貌誤差，檢測精度及主要技術指標達到瞭國際一流水平。通過產品的推廣和實際應用，證明公司的產品已經解決瞭國內市場上同類儀器的適用性和實用性難題，並已應用於大專院校、科研、計量以及廣泛的生產領域。比如，光學加工的鏡片檢測、半導體工業中的晶片檢測、大平板顯示中的平面檢測、數據存儲、MEMS/NEMS工業中光滑元件表面檢測、納米薄材料檢測、LED芯片制備等生產現場，都大大地提高瞭產品現場檢測的準確性和檢測速度，大幅度提高瞭成品率。
模塊化組合式幹涉儀是目前公司的主要產品，產品主要分為三種類型：通用組合式檢測、現場高效曲面檢測、無應力平面檢測三種類型。儀器采用瞭模塊化、組合式的結構設計形式，連續低倍實現高倍變焦，並通過專用軟件實現數據實時采樣和數據分析，形成瞭多口徑、多尺寸的系列產品。
儀器分為4個模塊，光源模塊、主機模塊、成像模塊以及鏡頭/相移模塊。通過模塊化的設計理念，針對不同的光源、鏡頭口徑、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便，也可適用於多種被測面的測量，大大降低檢測成本。通過連續低倍變焦，實現瞭等效高倍變焦，避免高倍變焦的設計難度加大、加工和裝備以及高倍變焦過程中光能損失問題。通過專用軟件，可對被測對象實時采樣和分析，並形成2D和3D圖形。
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