UDP650和UDP850 UDP (Uniform Deposition and Plasma)系統引進瞭TEER的專利技術CFUBMSIP(close field unbalanced magnetron sputter ion plating),優化沉積層的狀況,使其致密度高,硬度高,並且有優異的結合強度。其在UK的專利號是2258343,在美國的專利號是5554519,在歐洲的專利號是0521045。
UDP的優勢在於
1.用高濃度的低能轟擊粒子來沉積鍍層
2.沉積的鍍層具有致密,非柱狀晶結構,同時能保持很低的內應力
3.在低溫條件下沉積致密的鍍層
4.高效的粒子清洗使鍍層有非常好的結合力
5.非常容易沉積氮化物,碳化物,氧化物
6.非常容易沉積先進的多層鍍層
另外,此設備另外一個突出特點是穩定性好,可重復性好,可鍍出性能穩定均一,質量優異的薄膜。
UDP650和UDP850均采用光學粒子發射監測器監控反應鍍層的沉積過程,特別設計的“PLASMAG”濺射源等都為高質量的鍍層提供瞭可靠的設備條件。
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