LUPHOScan非接觸三維形貌測量機
LuphoScan是基於MWLI(多波長乾涉)技術的非接觸三維形貌掃描測量系統，它能夠實現高精度、非接觸的光學元件麵形測量，包括測量旋轉對稱的各種球麵、非球麵、平麵、自由曲麵等。
測量原理
利用MWLI（多波長乾涉）點傳感器連續測量傳感器到被測件的距離。被測件放置在一個可360度旋轉的平臺上，兩個線性平臺（水平(R)及垂直(Z）)用來控制MWLI傳感器。在標準操作模式下，傳感器垂直於被測表麵，同時沿著樣件對應的理想的輪廓移動完成麵形掃描， 由此產生的點狀圖即顯示瞭可能出現的任何偏差和缺陷 從而完成瞭對麵形的測試。
測量精度
利用參考傳感器及獨特的補償系統， 實現瞭系統的高精度測量。通過補償系統，實現瞭對測量傳感器的連續精確定位，並補償瞭R，Z及T軸的機械誤差。配合超高精度的MWLI傳感器技術，LuphoScan系統保證瞭在整個測量區的麵形精度優於50nm。
應用
LuphoScan乾涉機可以用於測量旋轉對稱表麵的麵形，其坐標軸的佈局允許它測量大非球麵的元件及頂狀元件，除此之外，還能實現對垂直表麵高度的絕對測量，甚至信號中斷之後也可以繼續測量。這樣可以實現透射元件、金屬麵、拋光前後、球缺表麵的測量。
技術參數
| 型號 | Luphoscan+R | ||
| 測量技術 | 光纖多波長乾涉技術 | ||
| 掃描模式 | 2D線性掃描 | 輪廓，等距，普通 | |
| 3D拓撲掃描 | 旋轉，等距，普通 | ||
| 測量范圍 | 260mm (直徑)×75 mm（高度） | ||
| 精度P2V (光束入射角度<2°) | 拋光 | Ra<2um | 2um≦Ra≦5um |
| ±50nm | ±250nm | ±1um | |
| 縱向分辨率 | 0.1nm | ||
| 重復性RMS | 3nm | ||
| 光斑大小 | 4μm | ||
| 橫向分辨率(點/mm2） | (可調)0,1….2×105 | ||
| 測量時間 | 平麵,Ф=25mm | 120s (16 poins/mm2), 240s(100 poins/mm2 | |
| 球麵Ф=60mm ROC=40mm | 200s(16 poins/mm2), 442s(100 poins/mm2 | ||
| 球麵Ф=80mm ROC=80cm | 365s(16 poins/mm2), 733s(100 poins/mm2） | ||
| 非球麵度 | 無限制，一般≥1000μm | ||
| 最大測試傾斜 | 90° | ||
| 最大測試口徑 | 260mm、420mm（或更大） | ||
麵形材料拋光，粗糙，鏡麵，透明，不透明，金屬表麵
麵形種類（任何的旋轉對稱表麵） 球麵、非球麵、平麵、部分自由曲麵、臺階
新手教學
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