精準檢測:針對光罩臟污、磊缺、刮傷、殘金、Sio2異常等缺陷進行檢測
高產品尺寸兼容度:可檢測2吋~6吋的LED晶圓
高效能表現:先進的圖像處理技術提供精確檢出結果,確保出貨良率
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