X軸 | 測量范圍 | 50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 | |
分辨率 | 0.2μm | ||
測量方法 | 反射型光柵尺 | ||
驅動速度 | 0.2mm/1mm/a和手動 | ||
測量速度 | 0.02-5mm/s | ||
測量方向 | /向後 | ||
直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm（當X軸在水平方向上 | ||
指示精度 （20℃） | ±（3.5+2L/100）μm L為驅動長度（mm） | ||
傾斜范圍 | ±45°（CV-2000） | ||
Z1軸 | 測量范圍 | 25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） | |
分辨率 | 0.4μm（CV-1000系列） 0.5μm（CV-2000系列） | ||
測量方法 | 弧形編碼器 | ||
指示精度 （20℃） | ±（3.5+14H/25）μm） H為水平位置上的測量高度（mm） | ||
探針上下運作 | 弧形運動 | ||
探針方向 | 向下 | ||
測力 | 10-30mN | ||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | |
向下 | 87° | ||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | |
材料 | 硬質合金針尖 | ||
基座尺寸（WxH） | 750600mm（CV-2000） | ||
基座材料 | 花崗巖（CV-2000） | ||
重量 | 主機 | 5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） | |
控制裝置 | 14kg | ||
遙控箱 | 0.9kg | ||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
能耗 | 150W僅限主機 | ||
性能參數
型號 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1軸測量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1軸測量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2軸測量范圍 | - | 250mm | 320mm
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