測量范圍：1.0×10⁵～1.0×10^-1（Pa）

有效范圍：5.0×10⁴～5.0×10^-1（Pa） 

參考范圍：1.0×10⁵～5.0×10⁴（Pa）及5.0×10^-1～1.0×10^-1（Pa）

壓強控制范圍：5.0×10⁴～5.0×10^-1（Pa）

壓強穩定度：±3%

調節閥：TJF-1

壓強控制方式：PID

壓強控制響應時間：<2S 

配接規管：PSG500/DN16KF/INFICON（可配轉接）

測量路數：1路

顯示路數：1個窗口

顯示方式：五位LED數字顯示，采用科學計數法，例：1.2E－1，表示為1.2×10^-1Pa

觸點控制路數：2組（要拓展請電話咨詢我公司）

觸點控制范圍：1.0×10⁵～1.0×10^-1（Pa）/建議在有效范圍內設置

觸點控制方式：點控或區域控制/帶掉電記憶

觸點控制點負載：AC220V/3A；DC28V/10A 

模擬輸出：0-5V/4-20mA(用戶選配)

通訊接口：RS-232/RS-485(用戶選配)

調節閥外控：PLC控制(用戶選配)

工作電源：AC/85～245V/50～60Hz/15W

重量：約1Kg

機箱尺寸：96×96×160（E型）/（寬×高×深）/(mm)

安裝開口尺寸：92×92（E型）/（寬×高）/(mm)

註意事項：調節閥和測量的規管盡量靠近安裝，以保證良好的真空控制穩定度；氣源壓力最好小於2個大氣壓，以保證調節閥的長壽命工作。

新手教學

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