XY運動平臺

試驗臺概述

目前的線性模組的誤差主要來自於其本身的幾何結構誤差、彈性變形誤差、熱變性誤差以及絲桿導軌等機械磨損引起的誤差。基於此，對於精度要求高的XY運動平臺，一般需要安裝光柵尺實現全閉環控制，取代傳統的半閉環控制，從而實現高精度要求。

HS3030精密定位工作臺在其底座上裝入2根並行的20直線導軌，基座與滑動臺搭配，實現瞭高剛性和負載容量。對負載負荷的變位量小，用於搭載物的質量或外部負載變動的用途也能依然保持高穩定性。進給機構采用研磨級的精密滾珠絲桿，並列裝入兩組直線導軌，實現瞭穩定的高行走精度、定位精度和大搭載質量，該結構承受力矩及復合負荷較強。在工作臺位置安裝光柵尺作為最終的位置反饋最終實現瞭極高精度的定位工作臺。

步進電機（實時補償型）閉環控制系統是麵向工業自動化的步進電機伺服化控制的科技產品。實時補償型步進系統繼承瞭傳統的步進系統的所有優點（例如：有靜態鎖力、低速性能好、大力矩（相同機座型號相對伺服電機而言）、對位置環的響應無延時、價格便宜、免維護），又具有伺服系統的一些優點（例如：安全性好、不會失步和過沖、能與上位機進行通迅、加速或減速更迅速、定位精度高）。用瞭實時補償型步進控制系統的步進電機除瞭高速性能和過載性能比不上傳統的伺服電機，其它方麵的性能完全可以媲美於伺服電機，甚至有些性能好過伺服電機,例如：靜態鎖力、與光柵尺配合能得到更高和更可靠的定位精度、低速穩定性等。

本控制系統接光柵尺構成全閉環控制,精度高過伺服系統,免除瞭絲桿,導軌和機械的誤差,定位精度能可靠的控制在正負0.005mm.

性能技術參數

XY運動平臺參數如下：

1）有效行程X軸300毫米，Y軸300毫米

2）線性模組寬度：200(160)mm；

3）研磨級20滾珠絲桿，導程：5毫米

4）20的直線導軌，采用ABBA或臺灣上銀；

5）高性能步進電機驅動器；

6）安裝1um高精度光柵尺用於位置反饋；

7）每條模組配2個極限開關，一個原點接近開關，一個原點開關，更加可靠地保證瞭回原點的一致性；

8）聯軸器：選配TBI

9）定位精度0.005毫米及以下，重復定位精度0.005毫米

        HS3030精密定位平臺系列是精密加工技術和電子工學相結合的產物。在平臺底座和工作滑臺之間組裝上直線導軌、滾珠絲桿、1um解析度的光柵尺、絲桿支撐座、聯軸器和電機組成精密定位工作平臺。可廣泛應用於適合自動化及光電產業和半導體產業等很多精密器械的定位機構。

工作流程描敘

HS3030運動平臺通過接步進電機系統配合光柵尺構成直線全閉環,精度高過伺服系統,免除瞭絲桿,導軌和機械的誤差,定位精度能可靠的控制在正負0.005mm以下.