多角度激光橢偏機(PH-LE型)專門針對晶矽太陽能電池絨麵上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有極高的精確度和準確度。



多角度激光橢偏機-產品特點

■可以測量單晶電池片、多晶電池片
■可以測量拋光片，精確度和準確度極高
■可以測量粗糙表麵的“絨片”
■適用於對太陽能電池粗糙表麵減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表麵減反膜造成的退偏因數（偏振因數）進行測量和評估，提高測量精度
■配置有高穩定度補償器，提供最小的漂移值和最小的測量誤差
■配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
■可進行20°－90°范圍內的多角度測量



多角度激光橢偏機-測量特點

■非破環性檢測
■樣品準直簡單方便
■測量速度快
■可變入射角范圍寬
■絕對測量
■軟件分析功能強



多角度激光橢偏機-技術指標

■光源：He-Ne激光器
■光斑直徑：1-2mm
■入射角范圍：20°到90°,5°/步
■精度：0.002°~ 0.02°
■膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si
■折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si
■激光光斑：直徑1mm
■激光波長632.8 nm

多角度激光橢偏機-典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。

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