Brooks提供麵向各種應用需求和真空測量范圍的真空測量方案。Granville-Phillips規管、電子氣件、模塊化真空產品，和量身定制的解決方案呈現出適應性廣，可靠性優越和特性精確，從而滿足各種市場需求，這些應用包括半導體及相關工藝、分析機器和科研院校的研究和工業制造。
Granville-Phillips產品線覆蓋從10-10Torr到大氣壓的全部真空測量范圍。我們的產品設計適用於本地和遠程控制的要求，或者是櫃式安裝形式的控制器或者本地模塊化的測量方案。同時，Granville-Phillips還可以從簡單的模擬量信號到各種數字通訊協議的多種輸出形式特性選擇。增加本地 顯示和遠程控制I/O功能可以顯著減少系統集成成本。如果精確性、穩定性和可靠性是您的真空制程系統至關重要和產能保證，那麼Granville-Phillips就是您的真空計系統的第一選擇。
835 VQM TM（真空質量監控機）分壓泵系統。Granville-Phillips的分壓系統是獲獎的高性能真空質量監控機（VQMTM ）的真空壓力范圍擴展產品。其具有所有VQM的優勢特點，包括響應速度快和使用便捷，可用於工藝檢測和工藝控制。
優勢特點：
- 工作壓力從3Torr到5x10-9 Torr
- 在85毫秒內完成質量數從1到145的氣體分析壓力測量；並可提供1到300質量數范圍的測量
- 可提供所識別的前十個最高比例的氣體成分的即時信息包括趨勢圖
- 精確的氫氣和氦氣檢測（無低質量數成分測量分壓超全壓現象）
- 85毫秒內完成1-145質量數全部樣本數據的記錄；120毫秒內完成1-300質量數全部樣本數據的記錄
- 可利用真空系統內已有的氣體進行單一氣體校準
- 緊湊型結構設計，可靈活安裝
GUTS ®支持體系
所有Granville Phillips產品均有GUTS（保證不受版權保護或相似自由的支持）的快速響應網絡提供強大支持以及我們全麵的客戶支持計劃的支持。當您致電GUTS服務中心時，我們從全球技術支持人員中精心挑選出來的真空專傢將立即為您提供令人滿意的解答和操作。我們每天365天、每天24小時全天候為您竭誠服務。如果在美國，請撥打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。
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