開 槽
正方形17×17，溝槽寬度3,溝槽深度離底部距離0.2-0.5
溶 解 性
不溶於水,易受強酸或強酸性液體浸蝕
熔 點
華氏380-450℃
拋光墊（Polishing Pad）
特色：
- 產品線齊全，高度客製化的服務，可配合顧客需求製作各種規格的研磨片。
- 能準確控制發泡過程的各種參數，精確回應顧客需求。
- 獨特的Template取出孔設計，方便研磨過後晶圓的取出。
- NAP層厚度可依顧客需求進行調整。
- 可依客戶需求製作各種尺寸的研磨墊。
新手教學
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