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渦輪分子泵和分子增壓泵的相同點與不同點 1. 共同點: 渦輪分子泵和分子增壓泵都是高真空泵,極限真空10-5Pa(10-7Pa);都工作在很高的轉速(數萬轉/分鐘);都有很高的壓縮比(N2:108),所以都可以獲得清潔真空。 2. 不同點 目前國內生產的以及絕大部分國外生產的渦輪分子泵都是立式泵,而分子增壓泵是臥式泵,臥式泵對共振的控制比立式泵難度大;分子增壓泵的工作壓力和排氣流量均比渦輪分子泵高出很多,可以達到數百帕;渦輪分子泵的轉子是由渦輪葉片構成,而分子增壓泵的轉子是由平圓盤構成;渦輪分子泵工作在分子流狀態,而分子增壓泵可以工作在分子流和過渡流狀態。
在圖5的情 況中,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率是相同的。如果葉列沿自身的方向運動,按相對運動的原理,從葉列上來觀察氣體則氣體沿著相反的方向運動,加上自身的熱運動,其最終相對於葉列的運動方向如圖6右邊所示。
然而在這種情況下,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率也是相同的。當葉列以不同的速率大小和方向(正向或反向)運動時,根據相對運動的觀點,葉列兩邊的氣體相對葉列的運動狀態可以由圖7中標號1到5來描述,其中任何一種狀態下,兩邊氣體通過葉列的傳輸幾率都是相同的。
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