機油壓力傳感器MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統)是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源於一體的微型機電系統。
MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路的設計技術和制造工藝,進行高精度、低成本的大批量生產,從而為消費電子和工業過程控制產品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單、易用和智能化。
傳統的機械量壓力傳感器是基於金屬彈性體受力變形,由機械量彈性變形到電量轉換輸出,因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣,像集成電路那麼微小,而且成本也遠遠高於MEMS壓力傳感器。相對於傳統的機械量傳感器,MEMS壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,相對於傳統“機械”制造技術,其性價比大幅度提高。
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