簡介
TC-61型系列單軸傾角傳感器由大連通產機器機表有限公司自行研制,用於測量單軸傾角的傳感器。它用於高精度MEMS芯片,機器級精度,具有BIMOS信號限制電路,設計考慮多用戶的需要,制造采用表貼工藝技術。具有高可靠性和高封裝堅固性,並具有自檢測(Self-Test)功能,可實現BIT(BuI1 t-In-Test)檢測。具有數字和模擬兩種輸出形式。該產品隨溫度和時間的變化仍有極好的可靠性和穩定性。此外,它還具有高分頻率,低噪聲,承受高過載的特點。
本產品可用於傾斜測量機器,位置測量,加速度和外置測量,汽車測控,慣性導航,地震監控等測量系統中。
二原理
TC-61系列傾角傳感器是建造在矽晶片頂部的表麵MEMS多矽結構。多晶矽簧片懸浮在晶片在晶片表麵的結構,並提供一個克服加速感應力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質塊相連的中央板形成的差動電容器機構來測量比例於加速度的多矽結構的偏轉,從而產生電壓輸出信號。
三技術條件
1型號 PM-TSI-45
2供電
2.1供電電壓(Vdc) +12V±5%
2.2輸入電流(mA) <35
3性能
3.1測量范圍(°) ±45°
(±0.707g)
3.2零g偏置電壓(v) 2.5±0.1
3.3輸出靈敏度(V/g) 2.83±0.2
3.4偏置溫漂溫度系數(mg/℃) <±0.03
3.5輸出電壓 Uout(v) 0~5v
3.6非線性度(%) ±0.4
3.7寬帶(Hz,max) 25
3.8輸出噪音密度(°/√Hz)0.0005
3.9長期穩定性 (°) <0.015
四.工作環境
4.1使用溫度(℃) -1.5~+125
4.2耐加速度:
4.2.1任意軸,不供電(g) 20000
4.2.2任意軸,供電(g) 20000
五.重量體積
5.1重量(g) <200
5.2體積 見附件。
六.接線端子定義
模擬輸出 | 紅 | 黑 | 蘭 | 屏蔽套 |
端子定義 | +12V | 電源、信號低地 | 輸出 | 殼體地 |
註 :零位輸出:2.5±0.1V;沿箭頭方向向上有傾斜時,輸出增大,沿箭頭方向向下有傾斜時,輸出減小;
模擬輸出:輸出電壓和角度值之間的換算公式:
&=arcsin{V*Vout-Offset/Sensitivity}
式中,Vout指傳感器的實測輸出值;offset指零度時輸出電壓值,出廠時提供實測值;
Sensitivity指傳感器的輸出靈敏度,出廠時提供實測值。
其計算公式={Vout(+45℃)-Vout(-45℃)}/*sin45;單位:V/g。
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