甲)流程
入板Þ顯影Þ沖污水、溢流水洗(1)(2)(3)(4)Þ清水洗、吸乾Þ檢查(1)Þ蝕刻(1)Þ蝕刻(2)Þ溢流水洗(5) (6)(7)Þ清水洗、吸乾Þ檢查(2)Þ膨松Þ退膜Þ沖污水、溢流水洗(8)(9)(10)、清水洗、吸乾Þ強風吹乾及熱風吹乾Þ冷卻出板
(乙)基本規格
1) 外呎吋: 20743.5mmLx1922mmWx2440±25mmH
2) 工件呎吋: i) 460H610 mm [最大]
ii) 200H250 mm [最小]
iii) 0.08~3.2mm [厚度]
板厚小於0.08mm時建議用墊板或用托板
3) 輸送速度: 0.2 ~ 5米/分鐘
4) 輸送麵高度: 925 mm±25mm
5) 輸送麵闊度: 700 mm [有效工作麵寬度610mm]
6) 行轆直徑: Æ22mm
7) 行轆軸距離: 28mm
8) 電源要求: 3相380V AC 102kW
9) 耗水量: 30~40 L /min
10) 排氣量: 350 CFM
11) 出入板方向: 左入板右出板 [從機組正麵視窗觀看]
12) 排氣管數量: 1條主排氣管
13) 排水管數量: 2條排藥水管,1條排污水管,共3條排水管
14) 排水方向: 由機尾至機頭
15) 控制電箱: 采用觸摸屏和PLC控制
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