調阻速度快
先進的激光器擁有極高的重復頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
德國進口掃描振鏡,掃描速度極快
高精度分步重復機構,空氣軸承,移動速度及加速度快
可靠性高
整機配置核心器件均采用原裝進口配置
采用花崗巖臺座,穩定可靠
功能強大
擁有溫度實時補償功能
同時具有激光劃片和打標功能
運行及維護成本低廉
采用光纖激光器
使用壽命長,性能穩定
電光轉換效率高,節約用電成本
采用風冷系統,無須外置冷卻設備
操作簡單,無須高額培訓成本
--調阻精度高
l先進的激光器提供瞭TEM00高光束質量和極細線寬的激光束
l四線制高速測量系統,測量時間僅為25us
l擁有軟件預調誤差補償功能
--調阻速度快
l先進的激光器擁有極高的重復頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
l德國進口掃描振鏡,掃描速度極快
l高精度分步重復機構,空氣軸承,移動速度及加速度快
--可靠性高
l整機配置核心器件均采用原裝進口配置
l采用花崗巖臺座,穩定可靠
--功能強大
l擁有溫度實時補償功能
-運行及維護成本低廉
l采用光纖激光器
l使用壽命長,性能穩定
l電光轉換效率高,節約用電成本
l采用風冷系統,無須外置冷卻設備
l操作簡單,無須高額培訓成本
2技術參數
--激光器系統
l激光類型:光纖激光器
l激光波長:1064
l激光平均功率:50W
l激光頻率:20KHz-80KHz
實際切口取決於材料、光學器件和波長;
l泵浦源使用壽命:100000小時
l冷卻方式:風冷
--激光束定位系統
l激光束運動范圍:75mmX75mm(可選配其他規格)
l點到點運動時間:5ms(典型)
l最大速度:7000mm/s
l重復定位精度:2.5µm
l激光束最小步進:0.76µm
--圖像監視系統
l監視方式:激光同軸監視
l最大放大倍數:>100倍
l圖像監視顯示屏:19寸液晶
--測量系統
l激勵方式:電流/電壓激勵
l恒流源:0.01µA~100mA計算機程控選擇
l恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍)
l電阻測量方式:四線制加電流測電壓
l直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓)
l調節對象發熱控制:程序可設定
l電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R(R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
l電阻測量范圍:0.01Ω-500MΩ
l電阻測量速度:25µs
l直流電壓分辨率:0.16µV(在10mV滿量程條件下)
l探針板:44針11組四線制(可選其它規格)
l探針板運動:計算機程序控制
--計算機及軟件系統
l工業控制計算機(雙核),17寸液晶
l操作系統:Windows XP
l VB平臺開發的可視化應用軟件,界麵友好,功能強大
--分步重復運動系統
l運動XY范圍:290260mm
l運動分辨率:1µm
l定位精度:小於6µm(帶誤差補償)
l重復定位精度:小於3µm
l最大運動速度:900mm/s
l具有溫度補償等功能
--非接觸溫度測量
l溫度測量精度:0.2℃
l調阻溫度修正:計算機程序控制
--其它技術指標
l供電電壓:220V AC
l整機功耗:小於1000W
3應用和市場
主要應用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用於
l厚膜混合集成電路
l電子元器件
l汽車電器
l傳感器
l軍工科研
l片式電阻等行業
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