ESA系列是新研發的獨特乾式真空泵，具有優越的高速排氣性能，從而適應瞭LCD濺射制膜裝置，真空乾燥制程，大型
L/L等工藝要求。並擁有高附加價值，對應氣體負荷自動控制轉速，高通信功能等。
| ESA Series | ||||||
| Specifications | Unit | ESA25S | ESA70W | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
| Pumping Speed 50/60 Hz | CFM | 88/106 | 274/296 | 706 | 1060 | 1766 |
| L/min | 2500/3000 | 7000/8400 | 20000 | 30000 | 50000 | |
| M3/Hr | 150/180 | 420/504 | 1200/504 | 1800 | 3000 | |
| Ultimate Pressure 50/60 Hz | mTorr | 3.98*10-5/3.00*10-5 | 3.00*10-6/2.03*10-6 | 3.97533E-06 | 4 | 7.5*10-6 |
| Pa | 5.3/4.0 | 0.4/0.27 | 0.53 | 0.53 | 1 | |
| mBar | 0.053/.04 | 0.004/0.0027 | 0.0053 | 0.0053 | 0.01 | |
| Connection | Gas Inlet | NW 50 | NW 50 | NW 80 | ISO 100 | ISO 100 |
| Gas Outlet | NW 40 | NW 40 | NW 40 | NW 40 | NW 50 | |
| Power at Ultimate Pressure | KW | 3.4 | 7.3 | 6.7 | ||
| Maximum Power | KW | 4 | 12.5 | 24.1 | ||
| Cooling Water Requirements | Min. Flow Rate | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 6 | 6 |
| L/min | ||||||
| Bearing and Dilution N2 | Bearing Seals | 11 | 15 | 12 | 5 | 6 |
| L/min | ||||||
| Cabinet Dimensions | inches | 35.4 x 15.5 x 19.7 | 39.3 x 15.7 x 31.5 | 38.2 x 15.7 x 31.9 | 43.7 x 24.4 x 35.6 | 60.5 x 24.4 x 41.1 |
| LxWxH | mm | 900 x 394 x 500 | 997 x 400 x 800 | 970 x 400 x 810 | 1110 x 620 x 905 | 1537 x 620 x 1045 |
| Weight | lbs | 528 | 836 | 902 | 1543 | 1650 |
| kg | 240 | 380 | 410 | 700 | 750 |
產品名稱：EBARA ESA80W-HDF真空泵維修
蘇州曼特萊精密電子有限公司主營：
一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(荏原)：ESA系列、EST系列、ESR系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESA80W-HDF真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(裡其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ乾式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT乾式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦裡安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS乾式真空泵系列等。
二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(裡其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦裡安)等。
三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油
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