BOC Edwards EXT泵適用於除最苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。STP系列愛德華真空泵使用電磁軸承,EXT系列一般使用球形氮化矽陶瓷軸承和磁軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由於軸承滾珠和軸承座使用瞭不同材料,防止瞭微小凹陷而提高可靠性。
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵可以通過TIC控制器或EXC控制器控制。 TIC控制器將渦輪控制和機器控制合二為一,使用起來更加方便。OEM或有電源的最終用戶可以使用EXC控制器在自己的系統中控制EXT渦輪,這可以降低成本。另外還具有如下優點:無油(渦輪分子泵不產生碳氫化合物污染);低維護(無軸承接觸,無機械磨損);低振動(比一般軸承的振動低一個數量級);減少冷卻(對許多應用來說自然冷卻即可);定位任意(可以安裝在任意位置)。
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵功能和優勢:
- 高臨界前級壓力
- 大容量流速(快速抽氣性能)
- 多級 Holweck 分子牽引機制為輕氣體提供瞭高壓縮量
- 極限真空 <10-10 mbar
- 經驗證的 EXT 性能和可靠性
- 混合軸承配置
- 免維護 – 儲油器永久密封
- 機加工整體轉子
- 直流電機驅動
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵應用:
適用於在要求清潔的高真空和超高真空的機器及設備上使用。也可用來作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級預抽真空泵使用,這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無碳氫化合物的真空環境。
BOC Edwards EXT系列渦輪分子泵技術參數:
主入口法蘭 | DN160ISO-K/DN160CF |
出口法蘭 | DN25NW |
排氣/吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
進氣口抽速*(壓縮比) | |
N2 | 540 ls-1 (>1010) |
He | 580 ls-1 (108) |
H2 | 500 ls-1 (106) |
Ar | 510 ls-1 (>1010) |
極限壓力(CF 型) | <10-10 mbar |
推薦的前級泵 | RV12/nXDS10i |
最大連續進氣口壓力(N2、He、H2)** | |
強制空氣冷卻,30 °C 環境溫度 | 1 x 10-3 mbar |
強制空氣冷卻,35 °C 環境溫度 | 5 x 10-4 mbar |
15 °C 時水冷卻 | 2 x 10-3 mbar |
標稱旋轉速度 | 50000 rpm |
到 90% 速度的啟動時間 | |
EXC300 | 6.5 分鐘 |
冷卻方法 | 強制空氣/水 |
強制空氣冷卻的環境空氣溫度 | 0 °C - 35 °C |
推薦的冷卻水流速 | 15 lh-1 |
(15 °C 水) | |
水溫范圍 | 10 - 20 °C |
最高入口法蘭溫度 | 80 °C |
操作姿態 | 垂直且豎直, |
直到水平 | |
1 米處的噪音級別 | <60 dB(A) |
最大軸向磁場 | <7 mT |
最大徑向磁場 | <3 mT |
推薦控制器 | EXC300 |
靜止功耗 | 35 W |
電源供給電壓 | |
電源供給頻率 (EXC250/300) | 47 – 63 Hz |
泵的最大輸出功率 | |
EXC300 | 290W |
重量 | |
EXT556H ISO/CF | 13.4/21.2 kg |
EXT556HF ISO/CF | 19.3/20.5 kg |
EXC300 | 4.6 kg |
* 不帶入口篩網時的測量值。配有入口篩網可能會使速度降低多達 20%
** 前級壓力 <0.3 mbar。高於此入口壓力時,轉速會下降
新手教學
批發市場僅提供代購諮詢服務,商品內容為廠商自行維護,若有發現不實、不合適或不正確內容,再請告知我們,查實即會請廠商修改或立即下架,謝謝。