愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵
EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用於壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對於大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。
應用
- 半導體制程
- 真空蒸餾
- 真空包裝
- 鋼脫氣
- 薄膜覆層
- 真空冶金
- 低密度風洞
- 空間模擬
- 真空浸漬
- 油乾燥和脫氣
- 制藥冷凍乾燥
- CO2激光
功能和優勢
- 適用於在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場合。
- 它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
- EH泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
- o 安靜的無振動運行。
- o 牢靠且防腐蝕。
- o 先進的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
- 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
- 經驗證的軸封佈置可確保沒有油進入泵送定子，並且由於不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。
- 軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端麵上堆積吸入的微粒。
- 動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助於實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。
技術數據
型號 | EH250 | EH500 | EH1200 | EH2600 | EH4200 |
排量（工作容積） | 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 | 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 | 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 | 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 | 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1 |
使用前級泵時的有效抽速 | 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 | 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 | 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 | 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 | 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1 |
泵的壓力差 | 0-180 mbar/0-140 Torr | 0-110 mbar/0-83 Torr | 0-90 mbar/0-68 Torr | 0-80 mbar/0-60 Torr | 0-60 mbar / 0-45 Torr |
進氣口連接 | ISO63 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO250 |
出口連接 | ISO40 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ISO100 |
轉速 | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm | 0-2900 rpm |
連續進氣口工作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
最大出口壓力 | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr | 1000 mbar/760 Torr |
推薦的前級泵 | GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 | GV80，E2M80 | GV160、GV250、 | GV250、GV400、 | GV400、E2M275 |
電機功率 |
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碳氫化合物 | 2.2 kW / 3 hp | 2.2 kW/3 hp | 3 kW/4 hp | 11 kW/15 hp | 11 kW/15 hp |
PFPE | 1.5 kW / 2 hp | 1.5 kW/2 hp | 3 kW/4 hp | 7.5 kW/10 hp | 11 kW/15 hp |
ATEX | 2.2 kW | 2.2 kW | 3 kW | 11 kW | 11 kW |
防爆 | 3 hp | 3 hp | 4 hp | 15 hp | 15 hp |
環境溫度范圍 |
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工作 | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F | 5至40°C/40至104°F |
存儲 | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F | -10至80°C/14至176°F |
最大工作濕度 | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH | 90% RH |
推薦用油 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 | Ultragrade 20 |
油容量 |
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齒輪箱 |
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| 1.25 l/1.3 qt | 3.5 l/3.3 qt | 3.5 l/3.3 qt |
聯軸器蓋 | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 1.5 l/1.6 qt | 6.5 l/7 qt | 6.5 l/7 qt |
軸封儲油器 | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 0.125 l/0.25 qt | 1.5 l/1.4 qt | 1.5 l/1.4 qt |
重量 | 61 kg/134 lb | 74 kg/163 lb | 74 kg/163 lb | 308 kg/679 lb | 400 kg / 882 lb |
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