精修愛德華乾泵,特定體積工藝室的抽空時間主要取決於泵在接近大氣壓力時的可用抽速。正如產品名稱所提示,iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大氣壓力附近提供大約250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目標是較小的工藝室,它們用於較早一代FPD(例如第四代)制造,而iXL500Q和iXL750Q則更適合較大的工藝室,可在第八代和第十代FPD制造中使用。
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