流延成型線結構
流延成型線結構主要由基板傳動線、流延機構、滑塊機構、烘箱設備、冷卻設備組成。
基板傳送線:把處理後的基板傳送到烘乾設備和冷卻設備。
滑塊機構:滑塊機構是用真空吸盤吸住基板從送板處平穩地以一定速度把基板運送到接板處的結構。
流延設備、烘乾設備、冷卻設備的控制與基板傳送線、滑塊機構的控制分開單獨控制。
二、流延工藝原理
基板傳送線在系統啟動後一直運行,流延設備、烘乾設備、冷卻設備等在系統啟動後獨立工作。
當基板在傳送線上傳送到送板處,來板傳感器感應到有板信號,延時後旋轉汽缸旋轉擺臂抬起到水平位置,真空發生器開啟,當真空感應開關感應到壓力吸盤壓力降到設定值,且接板處基板已離去,滑塊按預設運動曲線運動到終點,真空發生器關閉,吸盤松開,擺臂回到原始位置,然後滑塊後退到起始點等待,如送板處感應到基板信號,滑塊循環執行下一運動過程。
三、使用對象:深圳順絡、麥捷、振華等電子集團的濕法流延、印刷線等。
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