系統工作原理
l 系統標定，建立圖像座標系與物理平臺座標系的對應關系
l 玻璃基板運動到位，並讓基板上的十字Mark分別處於兩個相機的視場中
l 相機采集基板上的十字Mark圖像，並通過圖像處理得出十字Mark中心
l 驅動芯片運動到位，並讓芯片上的十字Mark分別處於兩個相機的視場中
l 相機采集芯片上的十字Mark圖像，並通過圖像處理得出十字Mark中心
l 計算出芯片和基板上十字Mark中心物理座標差
l 通過平臺運動使芯片和基板的十字Mark中心完全重疊（通常需1-2次重復對位）
l 完成貼合
光源 | 同軸光電光源，常用紅色或白色 | MCEP-CW8 / Moritex公司 |
鏡頭 | 定距定倍同軸遠心鏡頭，常用倍率4X或8X | MML8-ST65DS / Moritex公司 |
相機 | 30萬像素CCD相機 | MV-BV30U / Crevis公司 |
軟件 | 高精度幾何定位圖像處理軟件 | Smart-Aligner / 博視智動 |
新手教學
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