品名：鉬鈮靶材

純度：99.90%以上；

規格：根據客戶要求生產加工；

比例：Mo:90%;Nb:10%

用途：用於STN、tft、Ai、TP等磁控濺射鍍膜；

專業生產各種規格的鉬鈮合金靶材，成分根據客戶的要求生產。

一種鉬鈮合金板靶材的加工工藝，按照如下步驟實施：(1)混合：將定量鉬粉與鈮粉各分為至少三小份，然後每小份鉬粉與鈮粉再分別混合成小份混合粉，每小份混合粉經過多次混合和過篩後，多個小份混合粉再合成為混合合金粉；然後再將混合合金粉至少分三組分別混料最後合成一起，再混料成為成分均勻的合金粉；(2)成型：經過等靜壓壓成合金坯，進入高溫中頻爐在氫氣保護下燒結，燒結溫度分三個溫區：0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃並且每個溫度區至少燒結3小時，最終燒成合金坯狀；(3)鍛造和軋制：再經過1200-1400℃高溫鍛造制密後進入高溫爐1500-1600℃的加熱溫度進行軋制成備料規格的板材；(4)精加工：經切割、精磨、機加成為鉬鈮合金板靶材成品。本發明所得到的坯料呈現出比較細化晶粒，晶粒的大小趨於一致。

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