光柵尺MSA系列推薦應用領域：
最大有效長度≤600mm，主要應用於對環境如溫度、濕度、電磁乾擾等要求較高的精密機器如投影機、工具顯微鏡、影像測量機、等設備。
光柵傳感器基本參數
| 型號 | MSA5 | MSA1 | MSA0.5 | MSA0.2 | MSA0.1 |
光柵柵距 | 20um(0.020mm),10um(0.010mm) | ||||
光柵測量系統 | 透射式紅外光學測量系統，紅外線波長：880nm | ||||
讀數頭滾動系統 | 垂直式五軸承滾動系統 | ||||
分辨率 | 5um | 1um | 05.um | 0.2um | 0.1um |
有效行距 | 50～600mm | ||||
最大工作速度 | 20m/min(1um) 、60m/min(5um) | ||||
輸出訊號 | TTL,RS422, ～1Vpp | ||||
工作電壓 | 5V±5%DC | ||||
工作環境 | 溫度：-10～45°C 濕度≤90% | ||||
MSA系統主要參數
| 型號 | 分辨率 | 有效行距 | 最大工作速度 | 準確度 | |||
50～500mm | 510～600mm | ||||||
標準 | 高精度 | 標準 | 高精度 | ||||
MSA5 | 5um | 50～600mm | 60m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
MSA1 | 1um | 50～600mm | 20m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
MSA0.5 | 0.5um | 50～600mm | 10m/min | ±5um | ±3um | ±8um | ±5um |
★MSA0.2 | 0.2um | 50～600mm | 10m/min | ±5um | ±3um |
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★MSA0.1 | 0.1um | 50～600mm | 10m/min | ±5um | ±3um |
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