特點
• 分辨率/重復精度為0.1/0.5μm 時,精度
可高達(1.3+0.6L/600)μm。
• 確保垂直度(前部) 達6μm,直線度達4μm。
• 全/半空氣浮動系統可調節氣墊。
• 帶有基本統計功能, 另外,通過RS-232C
數據輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連,可
實現外部測量數據評估。
• 半自動測量時具有單鍵操作功能
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