INFICON UL1000氦質譜檢漏機
特點:
1、UL1000移動式氦檢漏機專門設計用於滿足苛刻的工業檢漏要求:具有耐用性強、測試靈活性好、靈敏度高、啟動快,響應精確迅速,系統安可靠等特點.
2、UL1000符合做微電子工業市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼並帶有適用於潔凈室的輪子,還有I-CAL(智能化漏率計算系統),無與倫比的噪聲抑制濾波,柔性均值算法和漂移抑制功能。用於消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間平衡的程序。
3、系統軟件包含帶有故障查找指令的先進自診斷程序。並可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護性功能。UL1000的通風系統不會乾擾通常清潔室中從天花板至地麵的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低並消除氦污染。
4、UL1000具有可轉動的控制界麵,裝在機器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果於狀態信息,這樣可遠距離方便地觀察讀值。
應用:
1、半導體工藝設備的維護,該設備本身帶或未帶有真空泵
2、工藝氣體系統的檢測與安裝
3、元器件在組裝前的漏率測試
4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
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