RBLD系列氦質譜檢漏機是基於INFICON 成套質譜模塊開發而成的工業用氦質譜檢漏機.它繼承瞭INFICON系列產品具有的精確,穩定,高重復性,最小維護,低成本和易使用等優點,在此基礎上,結合睿寶多年來在真空行業積累的經驗使其成為一款高性價比,快速且穩定的氦質譜檢漏機.
RBLD201 RBLD501
低維護率
若檢漏機需要頻繁地維修或維護就很難保證它的重復性。設計於長期穩定運行和結合智能與自動調整的RBLD系列可在最小維護的需求下提供很高的可靠性。此外，RBLD系列是唯一保證離子源燈絲至少可使用三年的檢漏機。INFICON的三年保修期是舉世無雙的，它的意義遠遠不隻是在燈絲上節省費用。全麵的系統監測和優質的燈絲是高在機運行時間、低成本、溫度穩定性和長期系統穩定性的重要因素。
靈活性
適用於大多數測試系統的配置，RBLD系列在大多數常用測試條件下都可提供快速和高重復性的結果。可配置於粗檢和精檢模式,在每個模式中寬的靈敏度范圍可使用靈活的測試技術。卓越的線性特性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進行無需再校準的檢漏。
新穎
RBLD系列具備完善的系統監測和本機診斷功能。機器精細地監測與控制運行過程中的關鍵參數。診斷碼自動提示,提供的診斷碼結合用戶手冊便於進行故障查找。獨特的渦輪分子泵和及其電子學單元保證最長的在機運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪分子泵提供轉子位置無比的高穩定性和抗震性，大大地延長瞭渦輪泵的使用壽命。
優點:
■ 卓越的人性化設計，帶給您簡單快捷的操作
■ 高在機運行時間
■ 預熱時間短
■ 自動尋找氦峰、自動校準、自動量程轉換，自動故障顯示
■ 全中文顯示，清晰明瞭
■ 音頻報警,閾值可調
■ 指數,模擬光柱兩種漏率顯示形式
■ 模塊化設計, 便於維護和維修
■ 低成本,高品質
功能說明：
RBLD系列可運行於真空檢漏或吸槍檢漏模式.它能定量檢測流過微小漏孔的氦測試氣體.測量的氣體流量被轉換為流率或漏率.其運行原理是基於逆流檢漏,即流動的氦氣逆著被抽氣流的方向進入渦輪分子泵然後進入質譜機,而重的氣體則被分子泵排出.
RBLD系列包含下列主要組件:
※作為檢測系統的180°扇形場質譜機
※高真空泵系統
※用於供應機器電源和進行訊號處理的電氣和電子學組件
質譜機僅能工作於高真空條件下,即質譜機中的壓強必須低於10-2Pa.由渦輪分子泵產生這個真空環境,它的前級泵是泵模件中的旋片泵,或用戶真空系統中的真空泵. 180°扇形場質譜機用於分離氦離子和其他經電離後的氣體產生的離子，隻有氦離子能進入靜電放大器中，被放大後的信號最終被電子學組件處理並顯示為漏率值。
主要配件介紹:
INFICON質譜模塊
模塊集成瞭PFEIFER-VACUUM雙流式渦輪分子泵TMH071及其渦輪分子泵控制器TC-600；離子源，2根釔/銥長壽命燈絲；磁偏轉系統；皮拉尼真空計；前置放大器。
PFEIFFER VACUUM雙流式渦輪分子泵
技術指標：
電 源 DC24V±5%
轉 速 1500（90000）Hz(1/min)
極限壓力 5×10-3 Pa
溫度要求 -25℃ - +55℃
濕度要求 5% - 85%
離子源
離子源采用能量為80eV的電子.電子由熱陰極發射被引向正電位的陽極. 它們並不直接射向陽極,而是往返數次後最後到達線圈形的陽極. 在行進的途徑中撞擊氣體原子,將其電離. 這些離子由與質量關聯的引出孔徑從離子源引出進入磁分離系統. 陰極與用敷塗氧化釔的銥帶制成. 此塗層可使銥燈絲在比鎢燈絲低得多的溫度下工作,並具有極好的抗脆裂,氧化,水蒸汽和碳氫化物的性能。
磁分離系統
180°偏轉的扇形磁場用作磁分離系統. 由於垂直於離子束的不均勻磁場, 在這個方向離子得到附加的聚焦. 這可大大地提高靈敏度. 來自其它氣體的不需要離子被中間孔徑排斥.
前置放大器
放大質譜機的離子收集極上收集的電流. 其增益可四級轉換. 模擬輸出電壓的轉換和處理由控制組件執行. 最靈敏量級的檢測限值約為1x10-15安.
直聯旋片泵TRP-12
技術指標：
電 源 AC220V±5%
抽氣速率 50 Hz 3.0 L/S
60 Hz 3.6 L/S
極限壓力 5×10-2 Pa
皮拉尼真空計
技術指標：
電 源 DC24V±1%
測量范圍 1.0×10-1Pa - 1.0×105Pa
溫度要求 +5℃ - +40℃
濕度要求 5% - 85%
RBLD系列氦質譜檢漏機與客戶系統的組裝結構:
RBLD部分 用戶系統
真空符號
圖示為典型的氦質譜檢漏機和被檢系統的連接結構，對於容積較大的被檢腔體用戶須提供輔助的欲抽泵組，一般為機械泵，在需要的情況下還需要配置羅茨泵和擴散泵。在檢漏過程中，檢漏機根據不同的入口壓強值條件下在不同的模式下自動轉換，RBLD系列在入口壓強在1500Pa時進入粗檢模式，入口壓強30Pa<P<100Pa進入低靈敏度，入口壓強P<30Pa進入高靈敏度，模式切換均自動完成。
配置：
序號
| 名稱
| 型號
| 生產商
| 參數
| 質量保證
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1
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分子泵
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TMH071
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PFEIFER VACUUM
| 電源：DC24V
抽速：氮氣 33 L/s
氦氣 39 L/s
氫氣 32 L/s
轉速：1500Hz
(90000 1/min)
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1年
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2
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離子源
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LDS2010
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INFICON
| 帶兩根長壽命燈絲的離子源（釔銥合金陰極）
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3年
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3
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質譜室
|
LDS2010
|
INFICON
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180度磁偏轉，單聚焦
|
3年
| |
4
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離子收集器
|
LDS2010
|
INFICON
| 1E-15 安培級 靜電放大器
| 3年
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5
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機械泵
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RBLD-301
|
GHD-030
|
ULVAC日本愛發科
| 電源： AC220V
抽速： 0.5 L/s
極限真空6.8e-1 Pa
|
1年
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RBLD
-201
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TRP-12
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北機優成真空技術有限公司
| 電源： AC220V
抽速： 3 L/s
極限真空：6.8e-1 Pa
|
1年
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6
| 電磁閥
| GDC-16A
| 上海西馬特機電
| 電源：DC24V
通徑：DN 8
| 1年
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7
| 吸槍+噴槍+氦氣袋
|
|
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| 1年
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8
| 波紋管
| DN-25KF
|
| 1.5米
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9
| 標準漏孔
| L-08
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| -8量級漏孔
| 1年
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性能介紹:
操作方式 | 5.6寸64K色TFT觸摸屏中文界麵 |
外形尺寸 | RBLD201 46x87x61 (寬 x 高 x 深) CM RBLD301 67x32x60 (寬 x 高 x 深) CM
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質譜機 | 180° 磁偏轉 |
燈絲 | 2根鍍有氧化釔的銥陰極 |
真空連接 | DN 16 KF / DN 25 KF |
電源電壓 | AC220V(±10%) 50/60 Hz |
功率 | RBLD201 <800 W RBLD301 <500 W |
最大進氣口壓強 | 粗檢模式 1500Pa 低靈敏度 (純逆向氣流) 100Pa 高靈敏度（順流檢漏） 30Pa |
預熱時間
| ≤ 3分鐘
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可檢氣體 | He2 He3 He4 |
最小可檢漏率 | 低靈敏度(純逆向氣流) 1.0x 10-09 Pam3/ s
高靈敏度（順流檢漏） 1.0x 10-11 Pam3/ s
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測量范圍 | 1.0x 10-11 Pam3/ s至1.0x 10-02 Pam3/ s
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響應時間(至訊號的63%) | <1秒
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