一、靶材定義：

 鍍膜過程中基本耗材，也就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。靶材作為陰極，被鍍膜工件為陽極，實現濺射鍍膜。

 二、按材料組成分類：

1.金屬靶材：　　鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁矽靶、AlSi、矽靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。 　　

2. 陶瓷靶材： 　　ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化矽靶、碳化矽靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化矽靶、一氧化矽靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶，、二氧化鉿靶，二硼化鈦靶，二硼化鋯靶，三氧化鎢靶，三氧化二鋁靶五氧化二鉭，五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶，氮化矽靶，氮化硼靶，氮化鈦靶，碳化矽靶，鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。

3、陶瓷靶材：

三、靶材特性——材料本身的物理性質包含：

    （1）導熱性；     

    （2）導磁性  ;    

    （3）導電性；     

    （4）熱脹系數;     

    （5）機械強度;  

    （6）熔點  . 

四、靶材形狀：

   靶材形狀各異：從圓形,方形,管狀,環形,三角形,圓錐形,到各種特性設計的靶材。

五、靶材規格：

圓塊Φ100*40mm, Φ60*40mm、   方形平板各種尺寸、管狀Φ100*10, Φ70*7以及根據需求定制

六、靶材應用行業：

6-1.記錄媒體工業：

1）光數據存儲：光盤；

2）磁數據存儲：磁頭，磁盤； 

6-2.硬質裝飾膜層工業；

6-3.大麵積鍍膜工業；

6-4.平板顯示工業；

6-5.光學/光通信工業；

6-6.半導體微電子工業；

七、圖片展示

新手教學

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