-135℃深冷水汽捕集泵@-135℃低溫冷阱生產廠傢

-135℃水汽捕集泵   -135℃ Water vapor cryopump

應用原理:

    在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘餘氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘餘氣體的能力低，時間長，而且所有殘餘氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
    深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表麵的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘餘氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實際應用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1、水汽捕集器
    它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用於塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。 
2、低溫冷阱
    放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由於系統處於真空狀態，無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.

本公司研發生產的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口名牌壓縮機及制冷配件、環保混合型制冷劑生產，替代液氮，節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點，其性能指標在國內處於領先地位，達到甚至超過國際先進水平。
 

主要的性能特點
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內制冷到-120℃，最低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺設備可設計兩路負載輸出；
5、進口壓縮機，環保混合型制冷劑;
6、觸摸屏+PLC=完善的自動化控制；
7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫  度顯示；
8、當待機溫度到達後有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報警；  
12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護；
13、電源斷電、缺相報警；
14、可本地、遠程控制自由轉換；
15、RS485計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制。

-135℃水汽捕集泵         -135℃ Water vapor cryopump
型 號 TH-135-3P TH-135-5P TH-135-7P TH-135-10P TH-135-12P TH-135-15P
壓縮機功率(KW) 2.8 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3
工作溫度（℃） -120℃至-150℃
抽氣速度（l/s） 30600 51000 73000 101000 153000 250000
制冷量（W） 300 500 1200 1800 2500 3500
冷凝管表麵積(m2) 0.15 0.3 0.5 0.7 1.0 2. 0
冷凝管長度 8m,φ6mm 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 24m,φ16mm 40m,φ16mm
預冷時間（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
降溫時間（min） ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7
除霜時間(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降溫時間(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6
適用油擴散泵徑（mm） ≤300 ≤500 ≤800 ≤1000 雙路輸出 雙路輸出
冷卻方式 風冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃)
適用腔體直徑（mm） ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000

冷凝盤管的制作
根據設備的實際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤管。

輸入、輸出的接口
冷凝盤管從真空腔內穿過腔壁時，由於管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會有較大損失，腔壁結霜嚴重。這就需要一個長約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來解決，它可以做成活口（見圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。

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