MRT-QF 主動隔振平臺

                                                           江西連勝科技有限公司

基本參數：

1. 1. 隔振頻率：1—200Hz
2. 2. 隔振性能：>5Hz  衰減90%,  >10Hz 衰減 95%  (@ v=0.1mm/s)
3. 3. 負載能力：根據平臺的不同尺寸而定。
4. 4. 單作動器最大補償力：±10N (垂直)，±10N(水平) 
5. 5. 沖擊響應時間：≤300ms**

5. 台面材料：不銹鋼麵板、鍍鋅蜂窩內核高強度粘接平板

6. 供電：220V   50W，

 7. 工作溫度及條件：溫度 5-40℃，濕度 0-60%.   工作條件 <2500m 海拔高度。

應用領域：

掃描探針顯微鏡（AFM/LFM/STM）

激光乾涉機

激光共聚焦顯微鏡

對振動有極高要求的機器設備

基本原理：

        MRT-QF 主動隔振平臺以連勝ZDT高性能空氣彈簧作為基本的支撐；同時

配以傳感器、控制電路和音圈作動器，共同組成精密主動控制隔振系統。其中ZDT型

空氣彈簧，一方麵解決瞭光學平臺及機器設備的承載問題，另一方麵可以對大於其隔

振頻率的環境振動進行第一級過濾；對於未完全過濾掉的微小振動，則由傳感器采集

平臺六個自由度的振動信號輸入控制器，由其作出迅速有效的信號處理，以控制音圈

作動器，使其提供與平臺殘餘振動大小相等、方向相反的力。其主要優勢在於：一、

進一步消除殘餘振動，大幅提升空氣彈簧光學平臺的隔振性能；二、有效遏制空氣彈

簧固有頻率附近有害的振動放大及共振，使系統能始終處於穩定、優良的工作狀態。

三、對於小的沖擊，音圈電機反應時間快，使系統能快速的恢復到穩定狀態。

                     主動隔振控制信號流圖

振動速度傳遞曲線：

沖擊響應時間： 

系統涉及概念及參數：

      單個作動器最大補償力：為系統單個作動器對平臺振動所能施加反作用力的最

大值

      沖擊響應時間： 為系統受到一定量的沖擊振動後恢復穩定所經歷的時間

                    系統沖擊響應時間：300ms*

      音圈電機：    因其結構類似於喇叭的音圈而得名，具有高頻響、高精度的特點。

                    根據振動環境和系統總質量的不同，最大可提供±10N的力。

      傳感器：      加速度傳感器，是感知外界振動信號加速度大小的器件。

傳感器量程 0.5g，頻率范圍0.05-300Hz，靈敏度10V/G

      控制器：  主要負責信號放大、濾波、變換、采集數據，計算，功率放大的模塊。

新手教學

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