產品品牌：立式擴散爐

擴散爐：應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域，用2~8英寸工藝尺寸系統組成：擴散爐主機、升降絲杠、微機控制柜等組成。主要技術指標：★爐管內徑：¢90~¢500   
★恒溫區長度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）★氣體種類：N2、H2、O2、HCL等    
★氣源控制：MFC或浮子流量計★推拉舟行程：最大1800mm    
★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mm/min★冷卻方式：水冷+風冷設備特性：控制系統分類產品：溫控系統包括：日本FP23+SR23+SR23配置、日本MI13配置、以及日本FP93配置等等…觸摸屏配置包括：日本三菱、日本歐姆龍、日本松下、廈門宇電、以及公司自制研發8500系列高精度控溫系統…控制柜、氣路管件控制系統：日本山武、日本SMC、德國費斯托、以及國產七星華創等品牌…