加工定制:是 | 品牌:晶誠 | 型號:非標 |
用途:濕法刻蝕 |
l 適用於矽片/藍寶石/砷化鎵/鍺片等半導體材料的刻蝕清洗等
l 可根據工藝需要裝配聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、石英(quartz)、不銹鋼(SUS)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)等化學溶劑槽、超聲/兆聲清洗槽、QDR(噴淋、快排、鼓泡、溢流、快速註水)清洗槽、DIW清洗槽等。
l 根據操作方式可分為手動、半自動、自動。
l 設備可裝配機械手、自動供液、循環過濾、機械拋動、排風系統、安全防護門、自動滅火裝置、漏液檢測等。
l 可根據客戶需求定制。
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