全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調節樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準是為瞭保證橢偏儀測量的可重復性和精確性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作於透明或反射基底；能夠進行地貌圖測量，包括翹曲晶片。



全自動光譜橢偏儀-產品特點

■全自動樣品校準
■高測量速率< 8秒
■消除瞭全波段范圍內的盲點
■可測量透明和吸收基底
■高測量精度
■具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能
■友好的軟件界面，強大數據分析功能
■具有實驗數據和模擬數據三維繪圖功能



光譜橢偏儀-技術指標

■光源：氙燈
■光斑直徑：1-3mm
■入射角范圍：20°到90°自動控制
■波長范圍：350-850nm，250-1100nm，250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■波長精度：1nm
■ 測量時間: < 8s（取決於測量模式和粗糙度）
■ 入射角度精度：0.01

光譜橢偏儀-可選配

■CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
■樣品顯微鏡
■高穩定性消色差補償器
■透射測量架
■XY移動樣品臺

光譜橢偏儀-典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。

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