臭氧滅菌屬於生物化學氧化反應，臭氧氧化分解瞭細菌內部氧化葡萄糖所必須的酶；也可直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞壁和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌的物質代謝生長和繁殖過程遭到破壞；還可以滲透胞膜組織，侵入細胞膜內作用於外膜脂蛋白和內部的脂多糖，使細胞發生通透性畸變，導致細胞的溶解死亡，並且將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細菌病毒代謝產物、內毒素）等溶解變性滅亡。縱觀無菌技術對微生物作用的原理可分為抑菌、殺菌和溶菌三種，應用臭氧作滅菌劑是屬於溶菌。

目前的臭氧發生器主要有三種：高壓放電式、紫外線照射式、電解式。

　　臭氧是世界公認的廣譜高效殺菌消毒劑。采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多瞭一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“最清潔的氧化劑和消毒劑”。

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