- 提高瞭200—300nm 紫外波長范圍的反射率，並加鍍瞭防止劃痕和鋁膜劣化的保護膜。
- 受入射角影響小，方便紫外光的光路設計。
- 可用於UV露光裝置，分光分析裝置，DUV影像系統
註意
- 反射率曲線是樣品的實測值，實際值可能隨制造批次不同而有所變化。
- 檢查光路和調整光軸時，請一定戴好激光雷射防護鏡。
- 面精度是鍍膜前的反射波面精度。鍍膜後的反射波面精度將會有變化。
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