產品介紹
Verifire™ ATZCoherent Artifact SuppressionRing of Fire™點光源是Verifire™ AT激光幹涉儀獲取清潔圖像的基礎,傳統的激光幹涉儀用的是相幹點光源,在測試腔中形成相幹光。但是,點光源在光路中遇到細小顆粒時同時也會產生寄生的幹涉條紋(牛眼環)。獨特的Ring of Fire™光源系統是隻對光學腔產生幹涉,而將幹涉腔外的細小顆粒產生的幹涉條紋遏制,整個幹涉儀的性能得到增強,所測量的性能得到增強,所測量的結果更令人信服。高精度的光學元件和光學系統需要高性能的測量技術和方法,不僅需要具備高速操作簡單和長期穩定的檢測設備和方法,同時更需要更高精度產品檢測的需求。ZYGO Verifire™激光幹涉儀做獨創的Ring of Fire™光源技術,消除瞭長期困擾的“牛眼環”所帶來的測量上的影響,將測量精度提高到一個新的臺階,同時配備ZYGO自主開發的Metropro軟件,以及與傳統激光幹涉儀互配的各種附件,真正使Verifire™激光幹涉儀在高速、簡易和穩定基礎上達到新的高度。可以說,ZYGO Verifire™激光幹涉儀不僅是新一代的激光幹涉儀,更是一次新的幹涉測量技術的革命。
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