波長彩200－280nm的紫外線（UVC）具有很強的殺菌作用。它可以有效地破壞DNA分子地結構，抑制細菌等微生物地再生。UVC紫外殺菌技術具有迅速、環保、無二次污染、成本低，廣泛地被應用在水、空氣的殺菌，以及各種物體包括食品、包裝物等的表面消毒領域。而波長在100－200nm的真空紫外線可以分解有機物分子，產生臭氧和氫氧自由基等，最終將有機物分子氧化成為二氧化碳和水。真空紫外線技術被廣泛應用於半導體和制藥等行業中的去除TOC以制備超純水。
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