實驗室常用氣體：氦氣、氮氣、氬氣、乙炔、甲烷、丙烷、氫氣、空氣等
1、供氣系統包括氣源集合壓力控製部分、輸氣管線部分、二次調壓分流部分與機器連接的終端部分。供氣系統要求具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠。
2、管道、閥件、管件、接頭等，如減壓器、終端壓力調節部分、截止閥、焊接接頭等所有部件均為316L不銹鋼材質，管路采用BA級內外拋光。
3、具備確保輸送到機器的氣體純度的控製措施。
4、能滿足實驗機器對氣體不間斷連續使用的要求，使用過程中根據不同實驗機器工作條件對整體或局部氣體壓力、流量進行全量程調整，達到不同檢驗條件的要求。
5、不銹鋼減壓器的選材要求承受壓力必須大於鋼瓶最大設計壓力。
6、為保證氣密性，除瞭需要拆卸維護和與機器對接的部位采用卡套連接外，其餘輸氣管線部分必須全部采用全自動焊接技術焊接完成。要盡可能減少因接點引起的氣體泄漏，輸氣管路部分轉彎處應避免或盡可能減少彎頭的使用。
7、氣瓶櫃內設置的報警系統應能對室內的可燃氣體及大氣氧含量進行實時檢測，並設置聯動機製。
8、設置鋼瓶、管線等安全保護措施。
9、氣源部分由鋼瓶和氣體發生器供給，確保氣體純度，必須具備輸出的穩定性和連續性。
10、不銹鋼減壓器必須具備輸出穩定性和連續性，高壓金屬軟管連接鋼瓶必須保證氣密性。
11、氣體終端壓力調節部分：對主氣路輸送的氣體應獨立控製，進氣壓力和出氣壓力顯示，按照不同分析機器對氣體使用壓力的不同要求進行二次調壓，必須保證對實驗室分析機器有穩定的供氣氣流，設置中斷轉換方便不同機器對接。
氣體種類劃分：
（1）易燃性氣體：把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體隻要與空氣接觸就會燃燒，當環境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬於易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導體製造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別隻有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控製使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬於毒性氣體。
（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在乾燥狀態下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對於安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬於這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬於這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
（6）大宗氣體。屬於這類氣體有N2，O2，CO2等
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