本公司生產加工藍寶石襯底片(三氧化二鋁)
材料 Material | 高純度Al2O3單晶 純度≥99.996% High purity Al2O3single crystal purity≥99.996% |
晶向 Orientation | C-plane 0.2°to M-axis ± 0.1° |
C-plane 0°to A-axis ± 0.1° | |
直徑 Dismeter | 150 ±0.1mm |
厚度 Thickness | 650 ±10μm，可定制 |
TTV | ＜5μm |
WRAP | ＜2μm |
BOW | ＜5μm |
定位 Primary Flat Location | A-axis ± 0.2° |
正面 Front Surface | 拋光 |
背面 Backside | 腐蝕/拋光 |
表面粗糙度（Ra)Surface Roughness | ＜0.2nm |
包裝 Package | 絕對無塵室，氮保護氣氛。25片盒裝 Clean Room, Nitrogen Atmosphere. 25 wafers cassette |
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