手動晶圓減薄貼膜機

(型號:MTM-10)

1. 主要規格

1.1晶圓尺寸:     直徑:4”,5”,6”&8”（根據客戶要求確定）

                 厚度:300~750微米

1.2晶圓種類:     矽,砷化鎵或其他

                 單邊,雙邊,v型缺口

1.3膜種類:       藍膜或者UV膜

                 寬度:    100~250毫米

                 長度:    100~200米

                  厚度:    0.05~0.15毫米

1.4貼膜原理:     防靜電滾輪貼膜

1.5貼膜動作:     膜手動拉出

1.6貼膜溫度:     可控溫度在室溫~100°C

1.7晶圓臺盤:     通用特氟隆塗層接觸式臺盤

1.8裝卸方式:     晶圓手動放置與取出

1.9防靜電控制:   防靜電特氟隆塗層晶圓臺盤/防靜電膜傳送滾輪和防靜電貼膜滾輪

                 貼膜部位配防靜電離子風機裝置

1.10切割系統:     獨特的可調整的環切刀技術,一圈即可適應各種晶圓外形,業界首創,

                 無任何飛邊,無需二次修剪,

                 獨特的直切刀技術保證世界同類機臺膠膜應用最節省

1.11晶圓定位:     浮動銷釘接觸晶圓的邊緣

1.12控制單元:     基於PLC控制帶3”觸摸頻

1.13電力供應:      單相交流電220V,10A

1.14壓縮空氣:      5公斤清潔乾燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

1.15體積:          500毫米(寬)*800毫米(深)*350毫米(高)

1.16凈重:          60公斤

2.機器性能:

2.1晶圓收益:      >=99.9%

2.2貼膜質量:     沒有氣泡(不包括碎粒氣泡)

2.3  每小時產能:    >=80片晶圓

3.文件及手冊:

3.1操作及維修手冊                                                                   1 套

4.安裝,培訓及驗收:

4.1賣方負責將機器安裝,調機,試運行及性能測試

4.2賣方給於買方內部操作員工,工程師,維護人員完善的技術培訓直到他們可以穩定獨立地操  

  作機器

4.3機器的驗收包括預驗收與最終驗收.預驗收應該在賣方工廠完成,最終驗收在買方指定 

   的地點完成.所有的驗收項目包括確認產品說明,產品運行,模擬測試與產品生產等.

5.保修條款:

5.1賣方保證設備完全滿足買方正常生產要求及購買規格
5.2保修期為買方正式驗收起12個月內

新手教學

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