INFICON SQC310系列石英晶體膜厚控製機具有先進的電子學，改進型的顯示器和極為出色的性價比，並具有兩種可供選擇的理想模式：順序鍍膜（SQC310）或並行鍍膜（SQC310C），為您提供其它生產廠薄膜控製機所沒有的性能與特色。用於順序鍍膜的SQC310石英晶體膜厚控製機裝備有2個傳感器輸入，2個源輸出，和8個數字輸入／輸出，同時提供為這些數字加倍的擴展插件板選件用於並行鍍膜；SQC310C石英晶體膜厚控製機監測多至4個石英晶體傳感器，帶有4個PID控製輸出，16個數字輸入，和16個繼電器輸出，其他則與SQC310的相同。

技術特點

■高亮度，VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。

■標準RS-232和USB（有以太網選件）。

■易設置和操作，有“快速設置”菜單，6個上下文-敏感的按鈕，和方便的參數設定旋鈕。

■Window程序用於開發，測試，和下載工藝過程，和將機器數據記錄至您的PC上，用於過程分析與質量控製。

■精確的過程控製，尤其用於低淀積率，在10讀值／秒時的分辨率為±0.03Hz，在0至50°C溫度范圍內的頻率穩定性為±2ppm。

■貯存容量高至100個工藝過程，1，000個膜層，50個膜系。

■用單傳感器或多傳感器監測源材料，提供精確的源分佈監測。

新手教學

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