產品說明
     
WH-304型光刻膠是應用於IC、TP、CF、LED產品生產的正性光刻膠。采用安全溶劑，具有高感度、高粘附性、高分辨率及良好的塗佈性能，適合於旋轉塗佈。

規格：
      4map.s，10map.s，25map.s，50map.s；

膜厚范圍：
      0.5-3μm/分辨率：1μm/良好的塗佈性能/安全溶劑/適合4-6寸IC產品、TP、CF、LED產品的生產；

推薦工藝：
      塗佈：23℃，旋轉塗佈，膜厚1.0-3μm；
      前烘：熱板100℃×90sec，烘道100℃
2-3min；
      曝光：40-45mj/cm²；
     
顯影：23℃，WH-3038,30sec，噴淋或浸漬；
      後烘：熱板120℃×120sec；

塗佈曲線
                                                     WH-304光刻膠塗佈曲線