SSD除電裝置ISX-224
SSD光照射形除電裝置ISX-224產品特點:
1:對於一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰????????至1/10,於1S以????????的短時間????????除電。
2: 與瓦斯的流動????????態無關,可獲得安定的除電性能。由於被光照射到的空間????????廣范圍地????????瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不????????定的氣流,也不影響除電性能。
3: 平常完全不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
4: 由於正負離子及電子平均分佈於空間????????,因此除電對象物的殘留電位可定為0V。
5: 由於光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
6: 由於是光照射之離子系統,因此,完全不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。
7:依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎????????有產生臭氧(ozone)。
8:構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2????????,在製造裝置.搬運上易安????????。
產品用途:
1:電子設備的製造、組裝工程。
2:照相機、鐘表、精密機械零件的製造、組裝工程。
3:食品、化妝品容器等的加工、填充工程。
4:紙張、薄膜(film)、薄板(sheet)類的卷、裁切工程。
5:成型機????????的除電。
6:防止附著於Parts feeder等振動製品。
7:防止軟片.感光材料之static mark。
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