概述
便攜式電阻測度機是用來測量矽晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型機器。
本機器按照半導體材料電阻率的國際及國傢標準測試方法有關規定設計。
它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。
為減小體積，本機器用同一塊數字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本機器不僅可以用來分先材料也可以用來作產品檢測。對1～100Ω•cm標準樣片的測量瓿差不超過±3%，在此范圍內達到國傢標準一級機的水平。
測量范圍：
可測量 電阻率：0.01～199.9Ω•cm。
可測方塊電阻：0.1～1999Ω/口
當被測材料電阻率≥200Ω•cm數字表顯示0.00。
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔
10mA量程：0.1～1mA 連續可調
10mA量程：1mA ～10mA連續可調
恒流精度：各檔均優於±0.1%
適合測量各種厚度的矽片
（3） 直流數字電壓表
測量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μv
準確度：0.2%（±2個字）
（4） 供電電源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W
（5） 使用環境：
相對濕度≤80%
（6） 重量、體積
重量：2.2 公斤
體積：寬210×高100×深240（mm）
(7)KD探針頭
壓痕直徑：30/50μm
間距：1.00mm
探針合力：8±1N
針材：TC

客戶提問：
可以測量薄膜厚度在0.2-10微米間