我公司研發生產的微型真空多晶矽熔煉、提純、定向凝固一體爐,為企業和科研機構在多晶矽的研發工作提高瞭極大的便利。輕巧靈便的操作系統讓試驗過程方便安全,更重要是能極大節約試驗成本。
技術參數:
01、加熱設備:小中頻感應電源,30KW/380V、,使用功率約25KW。
02、裝料容量:0.5-2.0Kg。
03、坩堝材質:99%石墨。
04、設備真空:2X-2真空系統、高溫石英真空管。
05、定向系統:自主研發精密步進系統、液晶觸摸控製、精密滾珠光桿、精密滾珠絲杠。
06、定向凝固:0.0001mm/min—0.01mm/min(可任意調整)。
07、水冷系統:1500L不銹鋼水箱、水泵、集散水器。
08、安全防護:不銹鋼安全保護屏、高溫石英玻璃、護目玻璃、萬向底座(選配)。
09、操作系統:石英管罩蓋板水冷搖臂、水冷搖臂裝置。
10、保溫材料:高純多晶莫來石纖維。
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