商品代碼:4241625

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    供應擴散爐 溫區設計隔板結構 恒溫區溫度均勻 性能穩定
    商品代碼: 4241625
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    商品詳細說明

    商品名稱】:擴散爐TK180聯系電話】:010-51669522||13331091975
    生產廠傢】:同志科技商品規格】:TK180

    商品簡介】:
    擴散爐專門設計用於半導體材料擴散、氧化工藝;同時也用於太陽能電池行業的氮化矽、磷矽玻璃、硼磷矽玻璃、多晶矽等多種渡膜(LPCVD)工藝。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,優質氣煉石英管作為爐膛, 可預抽真空並可通入參與反應沉積的氣體。
       溫度控製系統選用日本進口單回路智能溫度控製機控製、溫區設計隔板結構,恒溫區溫度均勻。進口或國產氣氛控製系統,質量流量計控製。設備具有溫度均勻、控製穩定、溫區間溫度擾動小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想企業的研製、生產設備。

     

    備  註】:

    主要技術參數見下表:


    項目

    參數

    爐膛尺寸

    ф180(外徑)×2200 mm

    加熱區長

    700 mm

    溫區點數

    3點/單管

    工作溫度

    RT~ 1200℃ (最高爐溫 1250℃ )

    控製精度

    ±1 ℃

    報警保護

    超溫、欠溫、斷偶、等報警保護

    升溫功率

    12 KW/單管

    重量

    550 Kg

    地址:北京市通州區馬駒橋鎮景盛南四街15號聯東U谷中區12I廠房
    郵編:101102
    電話:8610-60509015
    傳真:8610-51662451-8001
    E-mail:[email protected]



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