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半導體配件XDC-10K ----半導體配件：XDC-10K
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ENI Genesis RF Generator Power Supply Controller

Model: GHW-85A Matching Network

Part NA, : GHW80A-13DF2L0-001

Input Voltage: 200-208V, 65A, 3-PE, 50/60 Hz

RF Output: 13.56 Mhz, 8500W Max

Novellus: 27-105447-00 Rev-C
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