多麵掃描鏡/多麵轉鏡/多麵掃描鏡系統
多麵掃描鏡(Polygonal Scanners),可實現大范圍、超高速、高精度與高重復性的激光光束掃描。多麵掃描鏡裝置/多麵轉鏡包括電機與多麵鏡,多麵鏡具有多個反射麵,並安裝在電動機的旋轉軸上。通過電機的旋轉,多麵鏡可實現高速旋轉,從而實現大角度、高速的光束掃描。
應用領域:
醫學成像、薄膜檢測、材料加工、激光印刷製版、印刷線路板檢測多麵鏡/多麵轉鏡PolygonalMirrors
l Diamond Machined Mirrors: 該棱鏡由5052 and 6061鋁合金或銅製成。
Surface figure: lambda/8 per inch typical
Surface roughness: 40-80 Angstroms rmsdepending on configuration
Optical coatings: Wide variety of gold andenhanced aluminum coatings available
2 Polished Mirrors: 該拋光棱鏡適用於要求低散射的薄膜或紫外光掃描的應用。該棱鏡由非電鍍的塗鎳6061鋁材製成。
Surface figure:lambda/8per inch typical
Surface roughness: <=10 Angstroms rms
Optical coatings: Wide variety of enhancedaluminum coatings including the deep UV
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